Este instrumento adota método de medição interferométrica de mudança de fase óptica sem contato, não danifica a superfície da peça de trabalho durante a medição, pode medir rapidamente os gráficos tridimensionais da microtopografia de superfície de várias peças de trabalho e analisar e calcular a medição resultados.
Descrição do produto
Características: Adequado para medir a rugosidade da superfície de vários blocos padrão e peças ópticas; a profundidade do retículo da régua e do mostrador; a espessura do revestimento da estrutura da ranhura da grade e a morfologia da estrutura do limite do revestimento; a superfície do disco magnético (óptico) e a cabeça magnética Medição da estrutura; rugosidade da superfície da pastilha de silício e medição da estrutura do padrão, etc.
Devido à alta precisão de medição do instrumento, ele possui as características de medição tridimensional e sem contato, e adota controle por computador e análise rápida e cálculo dos resultados da medição. Este instrumento é adequado para todos os níveis de unidades de pesquisa de teste e medição, salas de medição de empresas industriais e de mineração, oficinas de processamento de precisão e também adequado para instituições de ensino superior e instituições de pesquisa científica, etc.
Os principais parâmetros técnicos
Faixa de medição da profundidade da irregularidade microscópica da superfície
Em uma superfície contínua, quando não há mudança abrupta de altura superior a 1/4 do comprimento de onda entre dois pixels adjacentes: 1000-1nm
Quando há uma mutação de altura superior a 1/4 do comprimento de onda entre dois pixels adjacentes: 130-1nm
Repetibilidade da medição: δRa ≤0,5 nm
Ampliação da lente objetiva: 40X
Abertura numérica: Φ 65
Distância de trabalho: 0,5 mm
Campo de visão do instrumento Visual: Φ0,25 mm
Fotografia: 0,13×0,13mm
Ampliação do instrumento Visual: 500×
Fotografia (observada pela tela do computador) -2500×
Matriz de medição do receptor: 1000X1000
Tamanho do pixel: 5,2 × 5,2 µm
Tempo de amostragem de tempo de medição (varredura): 1S
Refletividade do espelho padrão do instrumento (alta): ~50%
Refletância (baixa): ~4%
Fonte de iluminação: lâmpada incandescente 6V 5W
Comprimento de onda do filtro de interferência verde: λ≒530nm
Meia largura λ≒10nm
Elevador principal do microscópio: 110 mm
Elevador de mesa: 5 mm
Amplitude de movimento na direção X e Y: ~10 mm
Faixa de rotação da mesa de trabalho: 360°
Faixa de inclinação da mesa de trabalho: ±6°
Sistema de computador: P4, 2,8 G ou mais, tela plana de 17 polegadas com 1 G ou mais memória